Изображение: Midjourney
Ученые питерского СПбПУ объявили о создании двух передовых установок, которые должны позволить России сохранить суверенитет в области технологий микроэлектроники. Речь идет об установке безмасочной нанолитографии и установке по плазмохимическому травлению кремния.